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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>共聚焦顯微鏡>> VT6100高分辨率成像共聚焦顯微鏡

高分辨率成像共聚焦顯微鏡

參  考  價: 950000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:VT6100

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時間:2024-11-08 14:23:43瀏覽次數(shù):291次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,綜合
VT6000高分辨率成像共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。橫向分辨率高,,所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。更擅長微納級粗糙輪廓的檢測,。

中圖儀器VT6000高分辨率成像共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。橫向分辨率高,,所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。更擅長微納級粗糙輪廓的檢測,。

高分辨率成像共聚焦顯微鏡

VT6000高分辨率成像共聚焦顯微鏡具有直觀測量的特點,,能清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像,;能夠有效提高工作效率,,更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。


產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,,可進(jìn)行長度、角度,、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設(shè)備具備自動拼接功能,,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,;

6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;

7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,;

8)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命,;

9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,,確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),,大幅減小碰撞沖擊力,,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險,。


不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,,其次是對表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片:

影像測量功能界面

高分辨率成像共聚焦顯微鏡


應(yīng)用場景

1、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導(dǎo)體后道制造中,,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,,需要對晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,,會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,,在工藝上需要對引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測。

2,、光伏

在太陽能電池制作工程中,,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,,直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進(jìn)行快速檢測,。此外,,太陽能電池制作過程中,制絨作為關(guān)鍵核心工藝,,金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,,是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3、其他

高分辨率成像共聚焦顯微鏡


部分技術(shù)指標(biāo)

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負(fù)載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。

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